アルミ合金製(A7075) 放物面ミラー
名称 | アルミ合金製(A7075) 放物面ミラー |
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材質 | アルミニウム、A7075(超々ジュラルミン) |
サイズ | Φ15mm×20mm |
精度 | Ra20nm |
加工方法 | 単結晶ダイヤモンド工具による超精密切削加工 |
業界 | 半導体 |
こちらは、超精密非球面加工機 ULG-100D(SH3)を用いて加工した超々ジュラルミン製の放物面ミラーです。サイズはΦ15mm×20mmになります。
半導体業界において、放物面ミラーはレーザーの散乱を減らし集光能力を上げる目的で使用されるのが一般的で、集光能力向上のためには高い精度が求められます。そこで木村製作所は超精密非球面加工機 ULG-100D(SH3)を用いてこれを加工、表面粗度Ra20nmという極めて高い精度を実現しました。
アルミ合金の中で最も強度が高い超々ジュラルミン(A7075)。最も一般的なアルミ合金であるA5052と比べ、この超々ジュラルミンは耐食性や溶接性が劣るものの強度・硬度は非常に優れています。したがって、バットなどのスポーツ用品や航空宇宙分野などにも利用されており、なんとかつては日本海軍の零式艦上戦闘機(ゼロ戦)にも使われていました。
超々ジュラルミンは、鉄の3分の1以下、チタンの3分の2以下という軽さと優れた強度・硬度を併せ持つ素晴らしい金属材料です。しかしながら、その硬度の高さゆえに難削材とよばれており、この超々ジュラルミンを高い精度で加工できるメーカーは日本全国を見てもほんの一部です。
超々ジュラルミンの加工に使用した超精密非球面加工機ULG-100D(SH3)については、