アルミ合金製(A7075) 放物面ミラー

アルミ合金製 放物面ミラー1
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名称 アルミ合金製(A7075) 放物面ミラー
材質 アルミニウム、A7075(超々ジュラルミン)
サイズ Φ15mm×20mm
精度 Ra20nm
加工方法 単結晶ダイヤモンド工具による超精密切削加工
業界 半導体

こちらは、超精密非球面加工機 ULG-100D(SH3)を用いて加工した超々ジュラルミン製の放物面ミラーです。サイズはΦ15mm×20mmになります。

半導体業界において、放物面ミラーはレーザーの散乱を減らし集光能力を上げる目的で使用されるのが一般的で、集光能力向上のためには高い精度が求められます。そこで木村製作所は超精密非球面加工機 ULG-100D(SH3)を用いてこれを加工、表面粗度Ra20nmという極めて高い精度を実現しました。

アルミ合金の中で最も強度が高い超々ジュラルミン(A7075)。最も一般的なアルミ合金であるA5052と比べ、この超々ジュラルミンは耐食性や溶接性が劣るものの強度・硬度は非常に優れています。したがって、バットなどのスポーツ用品や航空宇宙分野などにも利用されており、なんとかつては日本海軍の零式艦上戦闘機(ゼロ戦)にも使われていました。

超々ジュラルミンは、鉄の3分の1以下、チタンの3分の2以下という軽さと優れた強度・硬度を併せ持つ素晴らしい金属材料です。しかしながら、その硬度の高さゆえに難削材とよばれており、この超々ジュラルミンを高い精度で加工できるメーカーは日本全国を見てもほんの一部です。

超々ジュラルミンの加工に使用した超精密非球面加工機ULG-100D(SH3)については、

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